作为光刻机巨头,ASML在出货方面并不自由。EUV光刻机研发制造出来后,ASML就不能自由出货,国内厂商早就全款订购一台,至今都没有交付,ASML承认是因为瓦森纳协定。芯片规则修改后,ASML的DUV光刻机出货也受到了影响,一般情况下可以出货,但在美生产制造的DUV光刻机,出货则需要许可。早些时候,ASML明确表示将向国内厂商提供其能够提供的一切技术,并对全球厂商一视同仁,还加速在国内市场的布局。
数据显示,中芯国际一次性与ASML签订了价值11亿美元的光刻机购买协议。ASML也向国内厂商出货了大量的DUV光刻机,国内市场成为ASML第三大市场,贡献了超14%的营收。但2022年10月份,美进一步收紧政策,限制更多半导体企业出货,并对ASML进一步游说,希望其收紧国际主流光刻机的出货范围。另外,美还联合日、荷兰等,希望在芯片方面进一步达成协议,这导致ASML的压力进一步增加。都知道,ASML主要靠出售光刻机获得营收和利润,先进工艺的产能过剩,成熟工艺的芯片仍很紧缺,DUV光刻机成了ASML出货的主力设备。于是,为了光刻机出货,ASML也开始孤注一掷了。
据悉,ASML首席执行官温宁克正式承认,美国主导的针对中国的半导体出口管制政策,最终会促使中国在高端芯片制造设备领域,成功研发自己的技术。ASML温宁克如此表态,就等于是亮明了态度,就是希望能够继续出货,不希望在DUV光刻机等设备上,受到更多的限制。当然,ASML孤注一掷,也是因为以下几点。首先,ASML已经制定了目标,计划在2025年实现超300亿欧元的营收,而ASML的营收主要来自DUV光刻机和EUV光刻机。虽然EUV光刻机售价更高,但对于ASML而言,营收主要还是DUV光刻机贡献的。目前,全球先进工艺芯片产能已经过剩,成熟工艺芯片仍很紧缺,DUV光刻机主要就是生产制造14nm\28nm等芯片。一旦DUV光刻机出货受到更多的约束,将会直接影响ASML的营收,甚至是影响光刻机的生产制造。其次,国内厂商在半导体设备方面突破速度也比较快的,90nm光刻机已经实现了突破。
在DUV光刻机方面,消息称,上海微电子28nm精度光刻机已经通过技术认证,并在光源技术方面与英诺激光展开合作,相信不久的将来就会取得突破。这对于ASML而言,显然是一个更大的冲击。因为ASML已经明确表示High NA EUV光刻机将会是最后一代,目前还没有找到更好的技术替代,未来将会朝着更环保的方向发展。这就意味着ASML未来一段时间就靠EUV光刻机和DUV光刻机获得营收,而DUV光刻机又贡献了大部分的营收,ASML自然是不想被约束。最关键的一点,堆叠技术芯片、先进的封装技术都已经出现,都能在不改变芯片制程的情况下,大幅度提升芯片性能,这相当于是降低了ASML光刻机的依赖。更何况,光电芯片、量子芯片等已经成为研发新方向,这两种芯片都能够完全靠绕ASML的光刻机,否则,荷兰也不会投资11亿欧元到光电芯片领域。在这样的情况下,ASML自然要孤注一掷。