扫描电子显微镜（SEM）是一种强大的科研工具，它通过使用电子束代替传统的光学透镜来观察样品的微观结构，从而提供了比光学显微镜更高的放大倍数和分辨率。

扫描电镜的像差简介

尽管扫描电镜在观察微观世界方面具有显著优势，但在成像过程中也可能会遇到一些像差，这些像差会影响图像的清晰度和质量。

1.球差：由于电子束穿过样品时焦距不一致导致的成像模糊，可通过球差校正器减少影响。

2. 色差：电子束能量分布不均导致的颜色偏差，需通过色差校正器进行校正。

3. 像散：电子束穿过样品后发生偏转，导致图像模糊和扭曲，使用像散校正器可减少影响。

合轴和消散像

合轴：指电子束的聚焦和偏转过程，是保证成像清晰度的关键。合轴操作包括调整样品位置、工作距离、对焦以及束扫描速度和模式，以优化图像质量。

消散像（BSE）：指电子束与样品相互作用后被散射形成的像，能提供样品表面形貌和结构信息。

如何进行合轴操作

1. 准备并安装样品至SEM样品台。

2. 对准电子束至样品，调整样品位置和方向。

3. 调整工作距离和对焦。

4. 设置正确的扫描速度和模式。

5. 进行微小旋转和移动样品以优化图像。

6. 检查成像结果，必要时重复合轴操作。

如何进行消散像操作

1. 样品制备：确保样品平整、光滑、干燥、无尘。

2. 参数设置：根据样品特性调整加速电压、放大倍数、探针电流、工作距离等。

3. 成像：在BSE模式下，收集散射电子并转化为图像。