据俄罗斯微信通讯社近日报道，该国已成功研发首台350nm光刻机。 报道称，莫斯科市长谢尔盖·索比亚宁在其 “电报” 频道的账号上发文称，莫斯科“泽列诺格勒纳米技术中心”公司已完成了俄罗斯首台350nm光刻机的研发工作，这是生产微芯片的关键设备。 索比亚宁称，全球有能力制造光刻设备生产设备的厂商不到10家，如今，俄罗斯也跻身其中。意味着俄罗斯已向过渡到自主生产微电子产品和国家技术完全独立上迈出了最重要一步。 莫斯科“泽列诺格勒纳米技术中心”公司总经理阿纳托利·科瓦列夫指出，这一项目是与白俄罗斯“Planar”工厂合作实施完成，于2024年12月测试成功，目前已有客户购买了这一设备。 据介绍，俄罗斯350nm光刻机设备首次使用固体激光器作为辐射装置，而固体激光器具有功率大、能效高、耐用性强、光谱更窄等特点。 据悉，“泽列诺格勒纳米技术中心”公司已做好了批量生产这一新设备的准备。此外，这一中心目前正在按第二份国家合同继续开展130nm光刻机的研发工作，预计于2026年完成。