
在当今科技高速前行的时代,半导体技术作为现代科技大厦的核心基石,其每一步重大跨越都重塑着全球科技版图。近期,中国半导体领域传来震撼佳音,二维环栅晶体管成功问世。这一成果意义非凡,为中国芯片产业带来了新的发展契机,也对突破外部技术封锁,尤其是光刻机封锁有着极为关键的作用。
传统硅基晶体管在向更小尺寸、更高性能的征程中,陷入了重重困境。当制程工艺向3纳米节点以下推进时,量子隧穿效应等物理现象严重干扰晶体管的性能与功耗表现,使得传统硅基材料与架构逐渐逼近无法突破的物理极限。与此同时,制造工艺的复杂程度呈几何倍数增长,成本也如火箭般蹿升,这无疑给全球半导体产业的持续发展套上了沉重枷锁。而光刻机作为制造高精度芯片的关键设备,其技术长期被少数国家垄断,先进光刻机的封锁成为限制中国半导体产业发展的一大瓶颈。
二维环栅晶体管正是为冲破这一困局而生。从结构设计来看,它采用了二维半导体材料,以栅极全环绕包围半导体沟道的创新架构,由高迁移率二维铋基半导体(硒氧化铋,Bi₂O₂Se)及其高介电常数自然氧化物栅介质(Bi₂SeO₅)经过精准集成并极限微缩成独特的三维新架构。在性能维度,其展现出令人惊叹的优势,拥有高迁移率,数值大于280cm²/Vs,低界面缺陷密度,约为~2×10¹¹cm⁻²eV⁻¹,高电流开关比达到10⁸,亚阈值摆幅接近热力学极限,小于62mV/dec 。运算速度与能效双双超越当前商用硅基晶体管的顶尖水平,成功突破传统硅基晶体管的本征物理局限,实现了更短栅长、更卓越的栅控能力以及更高的驱动电流。
从技术发展角度而言,二维环栅晶体管的出现开启了新的技术路径。传统硅基芯片发展高度依赖光刻机不断提升制程精度来缩小晶体管尺寸,但如今已逼近物理极限。而二维环栅晶体管采用全新的材料和架构,开辟了不单纯依靠光刻机提高制程精度的芯片发展新方向,有望绕开光刻机在极紫外光刻等先进技术上的限制,为芯片性能提升找到新途径。并且,它降低了对制程精度的依赖。凭借其独特材料和结构实现高性能,对极高精度的光刻制程需求相对降低。即使在现有光刻机制程水平下,也能通过材料和结构优势提升芯片性能,缓解了因光刻机技术受限对芯片发展的阻碍。
2025年2月14日,这是镌刻在中国半导体发展丰碑上的重要日子。北京大学化学与分子工程学院彭海琳教授团队与北京大学电子学院邱晨光研究员团队紧密协作,在权威学术期刊《自然-材料》在线发表论文,成功研制出世界首例低功耗高性能二维环栅晶体管及逻辑单元。这一成果的背后,是科研团队无数个日夜在实验室里的执着坚守与反复钻研。
放眼全球,众多知名半导体公司与研究机构早已洞察二维环栅晶体管蕴含的巨大潜力,纷纷投入海量资源进行研发。然而,在漫长的探索过程中,此前的研究始终难以取得理想突破。最高水平的二维环栅晶体管在性能与功耗方面,难以与主流硅基晶体管抗衡,并且在规模化制备二维环栅晶体管异质结的关键技术上存在严重短板。中国科研团队凭借着无畏的创新精神,另辟全新技术路径,开发出具有自主知识产权的全新材料体系。他们精心选用的硒氧化铋(Bi₂O₂Se)二维半导体材料,展现出极为优异的电学性能,为构建高性能晶体管筑牢了根基。同时,团队在制备工艺上实现重大飞跃,成功攻克规模化制备过程中的核心难题,达成从材料到器件的高效转化。这一自主创新成果,淋漓尽致地展现出中国在半导体材料和器件研发领域的深厚底蕴与强大实力,更为中国半导体产业的未来发展注入了一剂强心针。
从产业竞争角度出发,二维环栅晶体管的突破增强了中国半导体产业的竞争力。掌握这一技术,使中国在全球半导体产业中有了新的竞争优势。可以在不依赖先进光刻机的情况下,生产出高性能、低功耗芯片,有助于中国半导体企业在全球市场与依赖传统硅基技术和先进光刻机的企业竞争,减少因光刻机封锁造成的产业劣势。而且,该技术突破会吸引全球半导体产业资源向中国汇聚,包括人才、资金和技术等。更多国际合作机会可能出现,使中国能够获取更多外部资源和技术,加速半导体产业发展,也有利于突破光刻机封锁下的产业发展困境。
在产业生态构建方面,二维环栅晶体管的研发成功推动了产业链自主可控。它可带动相关二维半导体材料制备、新型晶体管制造工艺等产业链环节发展。有助于构建自主可控的半导体产业链,减少对国外光刻机及相关技术的依赖,降低因光刻机封锁导致产业链断裂的风险。同时,促进了产业生态多元化。为中国半导体产业生态带来多元化发展,催生基于二维环栅晶体管的新应用和新市场,降低产业发展受光刻机等单一技术瓶颈的影响,提高产业整体抗风险能力,在面对外部技术封锁时能有更多发展选择和空间。
二维环栅晶体管的诞生,无疑是中国半导体产业发展进程中的一座巍峨里程碑。它不仅为中国芯片产业突破硅基束缚提供了关键利器,更为中国半导体行业带来全方位、深层次的变革。在突破光刻机封锁的道路上,它提供了新的思路与可能性,助力中国半导体产业在困境中寻得生机。相信在这一重大突破的引领下,中国半导体产业必将在未来发展浪潮中乘风破浪,实现跨越式发展,为全球科技进步贡献更为卓越的力量。