与六氯化钨（WCl6）一样，六氟化钨也是由过渡金属钨元素和卤族元素组成的一种化合物，均具有良好的物理化学性质，广泛应用于化工领域。但是，二者在外观、性质、生产方法和具体用途上存在较大区别，例如，六氯化钨是一种带有蓝紫色的黑色结晶，而六氟化钨在常温常压下为淡黄色液体，其固态为易潮解的无色结晶，气态为无色。注：卤族元素是指周期表中的ⅦA族元素，包括氟、氯、溴、碘、砹等；其中氟位于第二周期VII族，比氯元素活泼，而氯位于第三周期VII族。

六氟化钨结构图

从化学成分上看，六氟化钨是由1个钨原子和6个氟元素组成的一种无机物，英文名为Tungsten Hexafluoride或Tungsten Fluoride，化学式为WF6，分子量为297.92，CAS号为7783-82-6，EINECS登录号为232-029-1。

理化性质方面，六氟化钨的外观为淡黄色液体、无色晶体或无色气体，空气中不燃烧，熔点约2.5℃，沸点约17.5℃，液体密度约3441kg/m3，气体密度约12.7kg/m3，相对密度约9.96kg/m3，临界温度约169.8℃，临界压力约4265.8kPa，临界密度约 1310kg/m3，压缩系数（50℃，10kPa）约0.997，蒸气压（-20℃）约14.186kPa，蒸发热约87.9745kJ/kg，升化热约122.5459kJ/kg。

六氟化钨图片

另外，六氟化钨还可溶于大多数有机溶剂，并使它们着色（苯、环己烷为红色，乙醚为褐紫色，乙醇为无色，等等），还具有较强的吸湿性、氧化性和腐蚀性，能腐蚀除金和铂外的所有金属以及潮湿条件下的玻璃。值得一提的是，WF6的毒性主要是由氟引起的，水解产物氟化氢强烈刺激皮肤、眼和呼吸道粘膜，还损伤肝、脑神经系统以及骨骼和牙齿。

高纯六氟化钨的生产步骤：先将粗WF6进行蒸发，然后将含有挥发性杂质的WF6进行气相吸附，得到半粗WF6产品，最后将半粗WF6送入UHP气体鼓泡系统，除去挥发性杂质，即可得到所需要的产品

六氟化钨主要用途：WF6是一种强氟化剂，可用于气相沉积法制钨膜；在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钨或钨，以制作低电阻、 高熔点的互连线。