关于DUV光刻机限制,荷兰工程师发声耐人寻味

冯轩喆说娱 2023-05-21 11:45:55

从全球光刻机销量统计情况来看,目前仅有荷兰的ASML和日本的尼康、佳能对外出货光刻机。尼康、佳能只能出货中低端光刻机,中端的数量也不多,主要是低端。

因此,ASML基本垄断了中高端光刻机市场,不仅EUV光刻机独家生产,连DUV也占到90%左右的份额。不过,如今DUV又被盯上要限制,荷兰工程师对此发声了!

荷兰工程师发声

小小的芯片制造过程却非常复杂,晶圆代工厂不仅要有过硬的技术水平,还必须配备相应制程的光刻机。因此,光刻机的先进程度一定程度上决定着芯片工艺的水平。

这让生产光刻机的ASML开始受到更多的关注,因为全球各大晶圆代工厂都要依赖它的光刻机,比如要生产7nm以下制程的芯片,就必须配套使用高端EUV光刻机。

同时还要使用DUV光刻机,7nm以上的14nm、28nm等工艺更需要DUV光刻机。

之前,美方为了限制我们发展先进的芯片制造工艺,在中芯国际2018年向ASML购买一台EUV光刻机时,曾经连续四次向荷兰施压,还派出高级代表跑到荷兰进行沟通。

最终,荷兰方面拒绝了ASML向中企出货EUV的许可证,导致EUV限制出货给中企。

如今,EUV光刻机依然被限制,美方的芯片限制措施又继续收紧,于是又盯上了DUV光刻机,想要ASML进一步扩大出货限制。这个想法,其实美方半年前就开始酝酿。

从去年10月美方出台最严出口管制新规后,限制DUV出货的想法更加明显,还曾派代表商谈此事。只不过一直没有得到想要的结果,ASML对此也是反应非常的激烈。

最近,相关消息更加频繁,美方加大跟荷兰、日本等盟友讨论力度,争取共同限制。

对此,荷兰工程师忍不住发声了。据相关信息显示,一位在ASML工作的工程师在网上表示,限制DUV只会带来不好的结果,只会加速中国自研,再封锁就造出来了。

这位荷兰工程师还谈了相应理由,不管是EUV光刻机,还是DUV光刻机,虽然制造非常的复杂,需要的零部件非常多,但物理定律在全球都是一样的,中国当然也可以。

关键是,中国的实力已经今非昔比,拥有强大的经济实力,科技发展非常快,还可以高薪去雇用顶尖的人才,完全有实力做出光刻机,现在突破光刻机只是时间的问题。

其实,ASML总裁的意思跟这位工程师差不多,还曾表示限制只会让他们被排除在外。

ASML忐忑不安

应该说,最关注我们国产光刻机研发进展的,恐怕就是ASML了。虽然我们的上海微电子目前的光刻机制程才达到90nm,但也是全球能够生产光刻机的四家企业之一。

更重要的是,目前还在攻坚DUV光刻机,从ASML的反应来看,应该离突破不远了。

由于EUV被限制,ASML如今仅靠DUV光刻机来发展大陆市场。即使这样,2021年来自大陆的销售额也占到ASML总销售额的16%,大陆成了ASML的第三大出货市场。

如果按照美方要求对DUV进行限制,至少将影响ASML约5%的营收。这样的损失比例看似不大,但一旦实施只会逐步增大,损失只能自己承担,甚至会影响研发投入。

再说,我们即将突破,尼康和佳能还在争抢市场,ASML可不想失去这么大的市场。

不过,让ASML担心的是,之前荷兰方面有大臣曾表示,不会草率跟随美方实施出口限制。然而,美媒传出消息,荷兰和日本方面已和美达成初步协议,共同实施限制。

这让ASML感到忐忑不安,如果荷兰方面同意了,估计他们也没有办法。但好消息传来,荷兰首相跟拜登见面会谈后,试图说服共同实施限制,但似乎没有取得新进展。

不过,日方似乎表示支持,但不同意大面积限制。目前来看,关于DUV光刻机是否会限制依然没有定论,这似乎是好现象,因为荷兰和日本都不想因此受到更大的损失。

当然,不管结果如何,我们还是应该坦然对之,继续加大研发力度,争取早日国产!

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