文 | 青橘罐头

编辑 | 青橘罐头

前言

在经历了长达7年的封锁与考验后，中国芯片产业迎来了历史性突破。

外媒报道华为已经开始测试中国国产的EUV 光刻机了！甚至将在今年进入到试生产阶段。

可以说我国的光刻机从设计、制造到封装测试，这条被卡脖子的产业链即将形成自主闭环。

那么，我国首个自主研发的EUV光刻机究竟怎样？其又将会带来怎样的变化？

从光刻江湖到七年围城

在全球芯片产业的版图中，EUV光刻机长期以来就像一座难以逾越的高峰。

而荷兰ASML公司凭借其独特的技术优势，牢牢把控着这一领域，构筑起了令人望而生畏的技术壁垒。

这种极致的精确性，使得它成为制造先进芯片不可或缺的工具。

ASML通过持续创新和技术积累，将EUV光刻技术推向了极限，这使得任何想要进入这个领域的竞争者都面临着巨大的挑战。

然而2018年成为中国芯片产业发展历程中的一个重要转折点。

中兴事件犹如一记警钟，揭示了核心技术受制于人的严重后果，紧接着华为遭遇的困境更是将这一问题推向了顶峰。

这些事件直接导致中国每年需要支付高达3000亿美元的芯片进口费用，而在外部势力的影响之下，荷兰公司还暂停向中国出售先进的光刻机。

面对如此严峻的形势，中国芯片产业开启了自主创新的新篇章。

北方华创在蚀刻机领域取得的突破，华纳九天在EDA软件方面的进展，以及中芯国际成功实现7nm制程，都标志着国产替代战略正在逐步展开。

在的2024年9月，我国半导体制造领域将迎来重大突破。

工业和信息化部宣布将推出两款具有重大技术突破的国产深紫外光刻设备，其精密加工能力最小套刻≤8nm。

这一技术进展标志着我国在高端芯片制造装备领域实现了关键性突破，为半导体产业链的自主可控注入了强劲动力，对提升国家科技实力具有里程碑式的意义。

可以说这些成就来之不易，背后凝聚着无数科研人员的心血和坚持。

然而根据外国权威媒体的报道 ，我国在更加先进的EUV光刻机上，取得了重大突破。

国产EUV光刻机测试

在芯片制造的技术竞赛中，中国选择了一条与传统巨头迥然不同的道路。

根据外媒的报道，我国自主开发的极紫外光刻设备（EUV）预计将在2025年下半年开始进行实际生产测试。

而这款设备在技术路线上别具匠心，采用了创新的激光诱导放电等离子体技术（LDP），不同于目前市场主导者ASML使用的激光产生等离子体方案（LPP）。

这一突破性进展将为国内半导体产业链的两大重要企业——中芯国际和华为带来新的发展机遇。

通过采用更为简化和高效的设计理念，这款设备有望在性能和成本方面都具备较强的竞争优势，为我国芯片制造能力的提升开辟新的道路。

这种选择绝非偶然，而是在深入研究后的战略性突破，LDP技术不仅大幅降低了设备的复杂度，更在能量转换效率上实现了质的飞跃，把效率提升到了此前的10倍以上。

与此同时，这种技术路线的创新带来了显著的成本优势。

而在这场技术突围中，国内科研机构和企业展现出了令人赞叹的协同创新能力。

哈工大在光源技术上的突破，长春光机所在反射镜领域的创新，以及上海微电子在磁悬浮系统上的进展，共同构建起了完整的技术支撑体系。

这种产学研结合的创新模式，正在显示出强大的生命力。

闭环未来，重构全球芯片新格局

在中国芯片产业发展的关键节点上，7nm以上制程的全面自主已经展现出令人瞩目的成果。

最新的实验室测试数据揭示了一个令人瞩目的进展，在华为的生产基地，这台具有突破性的国产光刻设备展现出了独特的技术优势。

其核心亮点在于创新采用的激光诱导放电等离子体技术，不仅使整体结构更加精简化、小型化，更重要的是在能源效率方面取得显著突破。

而这种全新的技术路线让设备的生产成本得到有效控制，为未来规模化应用奠定了坚实基础。

通过优化设计和创新工艺，研发团队成功实现了高性能与低能耗的完美结合，这对推动我国半导体制造业的自主发展具有重要意义。

可以说松山湖测试现场传来的数据令业界振奋，媒体报道按照既定规划，从2025年试产到2026年实现量产的路线图正在稳步推进。

这标志着中国芯片制造正在向更高水平迈进。

特别值得关注的是，中国方案对芯片价格体系带来的冲击，随着新技术的规模化应用，芯片制造成本有望实现大幅下降。

这不仅有利于扩大市场应用范围，更能推动整个产业向更健康的方向发展。

在这个过程中，ASML的垄断格局将面临前所未有的挑战。

而从我国芯片被制裁，到我国自主研发的EUV光刻机，可以说历经了七年的时间，中国芯片产业的自主创新之路走得艰辛却充满希望。

每一步突破都来之不易，每一份成就都值得珍惜。这不仅是技术的进步，更是民族创新精神的升华。

每日经济新闻2024-09-19 ——工信部公开推广两款国产DUV光刻机！最小套刻≤8nm！多只光刻机概念股走强

哈工大新闻网2024年12月30日——哈工大两项目获黑龙江省高校和科研院所职工科技创新成果转化大赛一等奖